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JB/T 10771-2007 復(fù)合分子泵技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

B/T 10771-2007 真空技術(shù) 復(fù)合分子泵

Vacuum technology-Hybrid molecular pumps

復(fù)合分子泵(Hybrid molecular pumps)是一種分子泵,其特征在于泵的進(jìn)氣口側(cè)有一級,或者一級以上的渦輪分子泵抽氣單元,泵的排氣口側(cè)有一級或者一級以上的牽引分子泵抽氣單元,兩種抽氣單元串聯(lián)抽氣,組成一種有別于傳統(tǒng)渦輪分子泵和牽引分子泵的新穎分子泵。

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了復(fù)合分子泵的型式和基本參數(shù),技術(shù)要求,測試方法,檢驗規(guī)則,標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于具有前級泵、變頻電源的復(fù)合分子泵(以下簡稱泵)。

起草單位:深圳大學(xué)

歸口單位:全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

發(fā)布部門:國家發(fā)展和改革委員會

發(fā)布日期:2007-8-28

實施日期:2008-2-1

 


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