ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障解決

ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障解決
1、電泵故障及解決
（1）電泵不舉動。審查名目有：電源電壓是否畸形，電門是否翻開，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過熱（泵結(jié)冰后是否能啟動）。
（2）電泵音調(diào)異樣。審查油位是否適合，油質(zhì)是否變壞，油溫是否＜10℃，油霧過濾器的入口有無氣體排出（那末無氣體排出，更替油霧過濾器）。2、分子泵故障及解決
（1）開機(jī)2min后壓力批示燈不亮。此時候子泵未轉(zhuǎn)動，即分子泵出口壓力未到設(shè)定值或未檢測到壓力（通常壓力應(yīng)＜10-3MPa，壓力過高分子泵將無奈啟動）。因而，重要審查招致壓力過高的成分。審查的名目有：PI1真空規(guī)管是否有問題，分子泵入口是否翻開，電泵油是否太臟或電泵是否轉(zhuǎn)動，零碎是否有透露。
（2）分子泵減速批示燈不亮。CD2通路板上的保險絲燒斷，更替保險絲或?qū)彶槭欠裼卸搪肪跋蟆?br /> （3）分子泵故障燈亮。審查CD2通路板設(shè)置電門是否在于R地位，此時無須在N地位。審查風(fēng)扇是否停留，那末風(fēng)扇畸形，請和廠家聯(lián)絡(luò)。3、質(zhì)譜室故障
（1）真絲批示燈不亮。審查真絲開要害是否在于開放地位（再按一下），審查I/O短接插銷是否儀器前面的接口。
（2）真絲批示燈閃耀。用萬用表審查質(zhì)譜室飛行插座1和5接報柱是否開路，若開路，更替真絲；若不開路，審查接報柱6是否和其余接頭導(dǎo)通，肅清短路景象.
（3）遙控面板無壓力批示。審查PI3規(guī)管是否有問題。
（4）當(dāng)檢漏結(jié)束時壓力不上升。審查通路板PO318保險絲是否有問題.
（5）檢漏口壓力＞0.01MPa。電泵油生效或PI3規(guī)管壞.4、檢測結(jié)束時涌現(xiàn)的故障
（1）檢漏鍵有效（綠色批示燈亮）：審查真絲是否啟動。那末真絲沒有啟動或者真絲斷，按檢漏鍵將沒有反響。
（2）檢漏鍵有效（批示燈不亮）。I/O短接插銷未拔出儀器前面插座。那末I/O短接插銷未拔出儀器前面插座，那時檢漏儀將承受I/O口輸出信號，而不承受遙控器信號，檢漏鍵有效。5、主動校準(zhǔn)終了時涌現(xiàn)的故障
主動校準(zhǔn)挫敗（真絲亮）白色校準(zhǔn)燈亮。率先審查主動校準(zhǔn)設(shè)置，電門S1是否在于OFF地位，所設(shè)置的漏率值和規(guī)范漏孔值是否統(tǒng)一。熱度傳感器是否接上；其次是審查銳敏度（那末用內(nèi)部校準(zhǔn)漏孔審查預(yù)示值和理論值統(tǒng)一，儀器也可運(yùn)用），蕩滌質(zhì)譜室。6、檢漏時涌現(xiàn)的故障
（1）不向細(xì)檢形式轉(zhuǎn)換，無油立式真空泵檢漏口壓力＜2×10-4MPa：審查粗檢批示燈是否亮，那末亮，注明檢漏儀置于粗檢形式。再按一下粗檢電門切換到主動轉(zhuǎn)換狀態(tài)。
（2）銳敏度低。審查三極規(guī)所測壓力，待到質(zhì)譜室壓力＜10-6MPa時再檢漏；那末壓力達(dá)成，審查離子源是否被凈化，蕩滌離子源。
（3）氦本底太高。審查電泵油是否生效（泵油長期運(yùn)用變質(zhì)會吸附較多的氦氣，招致氦凈化），審查儀器零碎是否有漏，真空管路是否凈化，審查三極規(guī)上壓力是否達(dá)成10-6MPa，離子源是否凈化。另外還要留神條件的凈化問題，那末小組內(nèi)有多臺檢漏儀，且氦氣的運(yùn)用量較大時，小組透風(fēng)不好時；或者小組透風(fēng)良好，但干凈廠房多采納上送風(fēng)形式，氣旋位置是自上而下，因為氦氣分子量較小，向上放散，以致氦氣放散慢，也會招致氦凈化。克服方法是在檢漏口的放氣缸放氣口（通常通大氣）處，裝置一個多少升定量的氣瓶，該氣瓶與工業(yè)氣壓氦上呼吸道路聯(lián)接。那樣，就大大縮小了條件的氦凈化。
（4）通常小組檢漏生產(chǎn)之前，會拿樣件試檢漏（此樣件通常是生產(chǎn)內(nèi)中中產(chǎn)生的成品，漏率瀕臨設(shè)定漏率），會發(fā)現(xiàn)漏的樣件不漏的景象。這是所以漏的樣件自身漏率較小，通過屢次檢漏后，微孔被污垢阻塞而不漏了。正常不要徹底置信漏件，漏件屢次運(yùn)用后就不要運(yùn)用了。
（5）工裝設(shè)計不正當(dāng)招致檢漏通不過。初檢時作業(yè)畸形，作業(yè)多少次后，抽速大大減慢，檢漏不過；加死堵檢漏儀不漏，作業(yè)畸形。這是所以工裝設(shè)計不正當(dāng)所致，比方工裝構(gòu)造不正當(dāng)，內(nèi)名義太毛糙，招致過多的氦氣殘留；或者密封設(shè)計不正當(dāng)招致密封不牢靠（因為工裝設(shè)計人員對業(yè)余真空設(shè)計不相熟）。
（6）操作不正當(dāng)招致故障。如作業(yè)中，有一個大漏的作件，因為操作人員斷定謬誤，不覺得作件漏，而去審查工裝的聯(lián)接或者檢漏儀，屢次對這一作件檢漏。那樣就會發(fā)現(xiàn)，所有作件都不過。起因是大漏的作件經(jīng)屢次檢漏后，有一大批的氦氣進(jìn)入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室凈化。克服的方法是，理清質(zhì)譜室，重復(fù)吸氣排氣。

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