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ASM181T氦質譜檢漏儀的元件作業原理

ASM181T氦質譜檢漏儀的元件作業原理

1.ASM181T氦質譜檢漏儀的作業氣路(圖1)。
2.ASM181T氦質譜檢漏儀作業預備內中(主動外部校準)
(1)預抽。合上檢漏儀電源電門,粗抽泵啟動,輪回批示按鈕的綠色批示燈閃亮。
(2)當初壓力達成設定值(大概5s后),P批示燈亮,分子泵啟動,旋片式真空泵分子泵轉速達成畸形轉速大概須要2~3min,當分子泵轉速達成畸形轉速時,分子泵轉速批示OK燈亮。同聲,真絲啟動,真絲電門批示燈閃亮大概8s后,批示燈亮,真絲點亮。
(3)檢漏儀主動標定。AUTOCAL電門白色批示燈閃亮,那末沒有故障,多少秒鐘后綠色批示燈亮,外部漏孔通大氣。示意檢漏儀自檢實現,能夠作業了。3.ASM181T氦質譜檢漏儀檢漏內中
(1)粗抽。按下遙控器上的輪回啟動按鈕,粗檢閥4翻開,遙控器右側壓力預示光柱上升。
(2)大漏檢測形式。那末按下粗檢按鈕,信以為真空達成6×102MPa時,分子泵排氣口閥6翻開,遙控器旁邊光柱預示以后漏率。
(3)細檢形式。那末不按下粗檢按鈕,信以為真空達成2×10-4MPa時,粗檢閥4開放,細檢閥5翻開,遙控器左側光柱預示以后漏率。4.ASM181T氦質譜檢漏儀的質譜室作業原理
質譜室作業原理(圖2)。
質譜室是用來檢測氦的分壓強。當質譜室內的總壓強(真空度)<10-6MPa時,水解室中由鎢絲制成的真絲啟動,加熱后產生高速電子轟擊離子源中的氣體分子,使分子水解。大全體的氣體分子都能變成離子,離子在磁場中被(減速電壓)減速,從而進入與其垂直的偏轉磁場,相反品質數的離子其偏轉半徑相反。減速電壓使得氦離子能夠打到放大器的出口(電子加倍器),從而檢測出氦離子流的強度,氦離子流與容器內的氦分壓成反比,因而對氦離子的測量能夠確定被檢件的漏率。




 

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