回顧了近50積年來(lái)中國(guó)真空計(jì)量的停滯歷史。意思囊括真空(全壓力)測(cè)量與校準(zhǔn)、分壓力測(cè)量與校準(zhǔn)、氣體微流量測(cè)量與校準(zhǔn),居中可對(duì)中國(guó)真空計(jì)量的歷史淵源和異狀有一個(gè)完全的理解。1、小引
2、真空測(cè)量與校準(zhǔn)2.1、中國(guó)真空(全壓力)測(cè)量的起步階段
20世紀(jì)50年歲至60年歲,國(guó)內(nèi)上研制出多種真空測(cè)量規(guī),況且真空測(cè)量鉆研正在于一個(gè)沉悶時(shí)代,這為中國(guó)真空測(cè)量的快捷停滯提供了可供龜鑒的成熟教訓(xùn)。在1957年,中國(guó)就曾經(jīng)有了徹底試制的壓縮式真空規(guī)、熱負(fù)極水解規(guī)、超高真空B-A規(guī)、皮喇尼規(guī)和冷負(fù)極水解規(guī)等多種真空測(cè)量家伙[5],鉆研者不僅從實(shí)踐上面,而且從實(shí)際上面對(duì)該署真空規(guī)繼續(xù)了深刻鉆研。
1966年,蘭州物理鉆研所還研制順利了存在中國(guó)獨(dú)特格調(diào)的熱負(fù)極中真空水解規(guī)。規(guī)管的電極采納呆滯正交軸對(duì)稱(chēng)構(gòu)造,電子減速極由一對(duì)平行相連的寬極板組成,離子收集極由一對(duì)平行相連的狹極板組成。2組極板在空間是相互垂直和軸對(duì)稱(chēng)的,其軸線上有始終熱式敷氧化釔銥負(fù)極。該中真空水解規(guī)測(cè)量規(guī)模為10-4～50Pa,規(guī)管系數(shù)零散性小于10%。
壓縮式真空規(guī)是20世紀(jì)60年歲中國(guó)真空測(cè)量鉆研的一個(gè)熱點(diǎn),許多鉆研者都做了簡(jiǎn)報(bào)。第一套(三只)行政區(qū)劃規(guī)范的壓縮式真空規(guī)在1962年由行政區(qū)劃科委計(jì)量局、上海計(jì)量局、復(fù)旦大學(xué)、上海玻璃廠競(jìng)爭(zhēng)制成[13],并經(jīng)過(guò)行政區(qū)劃鑒定。李旺奎在1964年研制的壓縮式真空規(guī)[14],發(fā)現(xiàn)附著屏障是毛細(xì)血管中水銀不規(guī)定靜止的重要起因。因而,在毛細(xì)血管內(nèi)名義涂一層3μm油層(DC2704),到底肅清了毛細(xì)血管中水銀靜止的異樣景象,并采納雙磨口閥門(mén)構(gòu)造,到底肅清了水銀蒸氣旋效應(yīng),能在1～10-3Pa規(guī)模繼續(xù)相對(duì)真空測(cè)量和對(duì)其余絕對(duì)真空規(guī)繼續(xù)校準(zhǔn)。中國(guó)國(guó)民生量院也對(duì)原始的壓縮式真空規(guī)繼續(xù)了改良,預(yù)防了水銀蒸氣旋效應(yīng)。
20世紀(jì)60年歲對(duì)冷負(fù)極水解規(guī)也做了一大批鉆研,囊括潘寧規(guī)、磁控規(guī)和反磁控規(guī),還提出了一些新構(gòu)造冷負(fù)極水解規(guī),如無(wú)磁場(chǎng)冷負(fù)極水解規(guī)[22]、正反磁控規(guī)[21],但該署冷負(fù)極水解規(guī)只能遮蓋的測(cè)量規(guī)模為102～10-6Pa。2.2、20世紀(jì)70年歲以來(lái)真空測(cè)量的停滯
20世紀(jì)70年歲,中國(guó)真空測(cè)量有了更大停滯,真空測(cè)量家伙的品種越來(lái)越多,生意化程度也越來(lái)越高。1971年,北京真空量具廠研制出一種熱負(fù)極水解規(guī)[25],該規(guī)采納敷氧化釔的銥負(fù)極擴(kuò)大下限,并采納新型電極構(gòu)造,經(jīng)過(guò)電參數(shù)和電極轉(zhuǎn)換,兌現(xiàn)一只規(guī)管測(cè)量10～10-7Pa的壓力。爾后,在擴(kuò)大熱負(fù)極水解規(guī)測(cè)量上上限上面做了一大批鉆研作業(yè),如1974年清華大學(xué)研制的測(cè)量規(guī)模為102～10-3Pa的低壓力水解規(guī)[26];1975年,北京大學(xué)研制的測(cè)量規(guī)模為102～10-4Pa的低壓力水解規(guī)[27];1975年,陳建中研制的測(cè)量規(guī)模為10～10
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